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충북대 반도체공학부 학생들, SCIE 국제저널에 1저자 논문 게재고비용 공정 대체하는 실리콘 MOSFET 신기술 제안

충북대학교(총장 고창섭) 반도체공학부 김이경, 한아름(이상 4학년, 지도교수 강문희) 학생이 SCIE급 저널인 Solid State Electronics에 1저자로 논문을 게재하여 주목받고 있다.

이번 논문은 “Spin-on dopant technology for cost-effective source/drain formation in silicon MOSFETs”로, 기존의 고비용 이온주입 공정을 대체할 수 있는 신기술을 제안했다.

이 기술은 실리콘 MOSFET의 소스와 드레인을 형성하는 공정으로, 기존 이온주입 공정 대비 동등한 수준의 성능을 구현하여 비용 효율성을 크게 향상시켰다. 연구팀은 실험적 최적화 과정과 TCAD 시뮬레이션, 샘플 제작 및 측정을 통해 이 기술의 우수성을 입증했다.

한편, Solid State Electronics는 전자소자 분야에서 오랜 전통과 높은 인용도를 자랑하는 권위 있는 저널로 이번 성과는 학부생 연구자들이 주도한 연구임에도 불구하고 큰 의미를 갖는다.

강문희 교수는 “김이경, 한아름 학생이 TCAD 시뮬레이션부터 샘플 준비 및 측정에 이르는 전 과정을 주도적으로 수행하며, 학부생으로서 SCIE 저널 1저자라는 뛰어난 성과를 이루어냈다”며 이번 연구 성과는 충북대학교 반도체공학부 학생들의 연구 역량과 우수성을 알리는 중요한 이정표가 될 것으로 기대된다고 밝혔다.

곽재근 기자  news@jbfocus.co.kr

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